材料学院78级校友顾海洋---【国产装备秀】电科装备首台CMP进入中芯国际大生产线,国产装备开始新征程
编辑:yqk 日期:2017-11-27 11:32

   20171121日,从中芯国际天津厂传来一个振奋的消息:由中电科电子装备集团有限公司(以下简称“电科装备”)研发的国内首台拥有完全自主知识产权的200mm CMP(化学机械抛光)设备,进入中芯国际8寸大生产线进行产线验证。

     材料学院铸造专业78级校友、国家“千人计划”CMP专家顾海洋博士表示,这是国产CMP设备首次进入集成电路大生产线验证,填补了国产设备产线验证的空白,推动着我国集成电路核心装备产业化迈上新征程。

 

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