日前，工业和信息化部公布了2012年信息产业重大技术发明评选结果，全国共有7项成果入围。其中，由硅材料国家重点实验室、材料系半导体材料研究所杨德仁教授研究团队和浙江金瑞泓科技股份有限公司联合完成的“重掺磷直拉硅单晶的制备技术及其应用”榜上有名。
重掺磷直拉硅单晶是低功耗微电子器件的基础材料，其制备技术在我国长期未能取得突破。国际上，仅有极少数领先的硅材料公司能商业化生产重掺磷直拉硅单晶。自2002年，杨德仁教授研究团队与浙江金瑞泓科技股份有限公司的技术团队紧密合作，在重掺磷直拉硅单晶的制备技术上进行自主创新。经过多年努力，在重掺直拉硅单晶的掺杂技术、热场设计以及缺陷表征和控制技术等方面取得了创新成果，突破了重掺磷直拉硅单晶的晶体生长工艺和硅片加工等关键工艺，形成了完整的具有我国自主知识产权的重掺磷直拉硅单晶制备的技术体系，并成功地应用于大规模生产。目前，浙江金瑞泓科技股份有限公司是我国唯一的商业化生产重掺磷直拉硅单晶系列产品的硅材料公司，产品在满足国内市场需求的同时，还出口国外。至2011年底，该系列产品已累计新增销售额超过3亿元人民币，利税超过1.2亿元人民币。
硅材料国家重点实验室
材料科学与工程学系
2013年1月23日
