浙江大学2项专利拟许可,现将相关信息予以公示。
[1]专利名称:一种常压化学气相沉积镀膜反应器
专利号:ZL201410718690.4
专利简介:本发明公开了一种常压化学气相沉积镀膜反应器。该镀膜反应器特点为:反应器内部设计有强化对流和束流结构的混气室;反应器底部结构采用具有良好热导率的耐高温钢板;混气室出口采用狭缝结构,作为反应器镀膜气体喷嘴;反应器喷嘴处安装具有倒角结构的石墨挡块;反应器进气腔与排气腔采用完全对称结构;反应器镀膜进气与排气方向可以互换。该常压化学气相沉积镀膜反应器通过强化前驱体气体对流传热,提高反应热效率,能够使镀膜沉积反应在相对较低的温度下进行,降低镀膜能耗,拓宽镀膜温度窗口。本发明的设计思路新颖,设备维护简单,投资小,成本低,适合工业化或实验室设备应用。
[2]专利名称:一种掺氟氧化锡镀膜玻璃的光学参数检测方法
专利号:ZL201910783766.4
专利简介:本发明公开一种掺氟氧化锡镀膜玻璃的光学参数检测方法,该方法利用椭圆偏振光谱仪测试掺氟氧化锡镀膜玻璃的椭偏参数,建立梯度层与粗糙层双层膜系结构模型及各层对应色散模型,梯度层的模型为随着掺氟氧化锡镀膜厚度的增加,从底层的介电材料渐变为顶层的透明导电材料。通过迭代回归椭偏光谱,获得掺氟氧化锡薄膜的结构及各层的光学参数。本发明仅采用椭偏光学测试手段便可测量非均质掺氟氧化锡薄膜结构和光学参数,对样品无损伤、无接触、测量耗时少,测试方法简便、快捷,且对被测样品表面无特殊要求,十分适合于在线低辐射节能镀膜玻璃的性能在线检测及监控。
转化方式:普通许可
定价方式:协议定价
转化价格:100万元
公示期自2020年12月9日至2020年12月23日。如有异议,请在公示期内向学院科研办或科学技术研究院提交异议书及有关证据。
学院科研办
电话:87952290,邮箱:liujinfang@zju.edu.cn。
科学技术研究院
电话:88981082,邮箱:kyc1@zju.edu.cn。
2020年12月9日